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題 名 | Formation of Gallium Nitride Films on Silicon Substrate by Low-Temperature RF Sputter |
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作 者 | Huang, Chien-jung; Chou, Dei-wei; Li, Kuo-yuan; Meen, Teen-hang; Chen, Wen-ray; Chen, Wen-chi; | 書刊名 | Journal of Science and Innovation |
卷 期 | 1:1 2011.01[民100.01] |
頁 次 | 頁19-24 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | Gallium nitride; RF-sputter; Silicon; |
語 文 | 英文(English) |