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題名 | 瞬時相移干涉應用於表面形貌之量測=Surface Profile Measurement with Instantaneous Phase-Shifting Interferometry |
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作 者 | 杜宜亮; 陳元方; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷期 | 32:5=181 2011.04[民100.04] |
頁次 | 頁61-67 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 瞬時相移干涉; 表面形貌量測; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 摘要: 表面形貌量測在半導體及光學元件製造上是一項重要的技術。光學干涉量測以非接觸、全場性、速度快與高精密等優勢,大量應用於高科技產品表面形貌的量測。然而運用相位移技術時,由於相移機構的移動,取像時間較長,受到環境振動或空氣擾動的影響,容易產生較大誤差,亦不適用於生產線上的檢測。本文中簡介一套可以瞬時 (或同步) 擷取不同相位移干涉條紋圖像之量測系統。此系統利用偏光相位移干涉原理,透過一四影像合併鏡組,運用單一 CCD 同時擷取不同相移之干涉條紋,經由灰階校正及數位對正各影像之位置,可由相位移法以及相位展開求得相位值,轉換得到待測物的表面形貌。此系統經以平面鏡及晶圓進行實測,以驗證及探討此量測系統之準確性、誤差與穩定性。此系統之研發可以減除外在環境振動與量測時間過長所造成的影響,亟具實際運用的價值。 |
本系統之摘要資訊系依該期刊論文摘要之資訊為主。