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題 名 | ALD有機薄膜沉積技術=Organic Thin Films by Atomic Layer Deposition |
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作 者 | 曾銘宏; 陳冠綸; 林龔樑; 王慶鈞; 蔡豐羽; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 375 2014.06[民103.06] |
頁 次 | 頁78-88 |
專 輯 | 光電設備技術專輯 |
分類號 | 472.17 |
關鍵詞 | 原子層沉積技術; 有機薄膜; 功能性有機層; Atomic layer deposition; Organic thin films; Functional organic layers; |
語 文 | 中文(Chinese) |