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題 名 | Smooth and Conformal Al₂O₃ Coating on Polystyrene Nanospheres by Using Atomic Layer Deposition |
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作 者 | 柯志忠; 鄭佩慈; 劉達人; 李昭德; 蘇健穎; 蕭健男; 彭宗平; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 19:3 民95.12 |
頁 次 | 頁48-51 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | Atomic layer deposition; Polystyrene nanosphere; X-ray reflectivity; |
語 文 | 英文(English) |