頁籤選單縮合
題名 | PEALD系統研製=The Development of PEALD |
---|---|
作者 | 蕭健男; 柯志忠; 劉伯亨; 游智傑; 李昭德; 劉達人; 陳峰志; Hsiao, C. N.; Kei, C. C.; Liu, B. H.; Yu, C. C.; Lee, C. T.; Liu, D. R.; Chen, F. Z.; |
期刊 | 真空科技 |
出版日期 | 20091200 |
卷期 | 22:4 2009.12[民98.12] |
頁次 | 頁39-44 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 平板電極與感應耦合式電漿輔助原子層沉積系統; PEALD系統; 腔體壓力; 觸媒白金顆粒; |