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題 名 | Passivated the Surface of GaAs Photodetectors Using the Photoelectrochemical Oxidation Method |
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作 者 | Lee, Hsin-ying; Chen, Tzu-yu; Chan, Hsun-cheng; Lin, Yuan-fu; Wang, Ming-yi; Lee, Ching-ting; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 18:4 民95.02 |
頁 次 | 頁15-21 |
專 輯 | 光電半導體與平面顯示器專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | GaAs; In0.5(Al0.66Ga0.34) 0.5P; Metal-semiconductor-metal photodetectors; Photoelectronchemical oxidation method; Passivation layer; |
語 文 | 英文(English) |