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題 名 | 鋁合金超高真空系統之研究=Study of the Aluminum Ultrahigh Vacuum Chambers |
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作 者 | 楊佳螢; 許憲能; 陳慶隆; 張進春; 陳彥斌; 熊高鈺; 陳俊榮; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 21:3/4 2008.12[民97.12] |
頁 次 | 頁39-43 |
分類號 | 449.32 |
關鍵詞 | 鋁合金; 超高真空; 氧化層; Aluminum alloys; Ultrahigh vacuum; Oxide layer; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 現今工業技術蓬勃發展,真空技術已廣泛應用在各種領域,不管是最為熱門的光電半導體產業或是ㄧ般民生食品加工業,真空技術都扮演著不可或缺的角色。鋁合金具質輕物廉、熱導性佳與加工成形容易等優點,適合拿來當成真空腔體材料,本文將概述鋁合金材料應用在超高真空系統上所必須注意的事項,其中包括材料表面處理、銲接及真空性能研究。 |
英文摘要 | Vacuum technology has been widely used in our life, especially in the electronic industrial. Aluminum alloys are suitable for vacuum chamber material for its light weight, high conductivity and easy to machine. In this paper, we describe the aluminum ultrahigh vacuum systems and focus on the surface treatment, welding, and vacuum performance. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。