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題 名 | 大面積電感式耦合電漿源與專利分析=Inductively Coupled Plasma with Large Area and Patent Analysis |
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作 者 | 林東穎; 柯明賢; 陳輝達; 張均豪; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 307 2008.10[民97.10] |
頁 次 | 頁33-44 |
專 輯 | 平面顯示器製程設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 電感式耦合電漿源; 大面積電漿激發模組; 電感式耦合電漿源專利分析; Inductively coupled plasma source; Large scale plasma excitation module; Inductively coupled plasma source patent analysis; |
語 文 | 中文(Chinese) |