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題名 | 薄膜太陽能廠矽甲烷安全 |
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作者姓名(中文) | 黃建彰; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 13:12=149 2007.12[民96.12] |
頁次 | 頁142-147 |
專輯 | 半導體廠務專輯 |
分類號 | 555.56 |
關鍵詞 | 矽甲烷安全; 爆炸; 危害控制; 現場尾氣處理設備; Silane safety; Explosion; Hazard control; Local scrubber; |
語文 | 中文(Chinese) |