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題名 | Researches on Design Simulation and Fabrication Process of Hafnium Oxide and Niobium Oxide Arrayed Waveguide Gratings=二氧化鉿與五氧化二鈮陣列波導光柵設計模擬與薄膜製程特性研究 |
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作者姓名(中文) | 吳承修; 賴亦岑; 李鵬霄; 翁敏航; 劉文仁; 陳治民; 賴暎杰; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷期 | 38:4 民95.12 |
頁次 | 頁228-234 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 陣列波導光柵; 二氧化鉿; 五氧化二鈮; 光通訊; AWG; Hafnium oxide; Niobium oxide; Optical communication; |
語文 | 英文(English) |