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題名 | 超高分辨電子顯微學= |
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作者 | 陳福榮; 開執中; 王建義; 張立; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 19981200 |
卷期 | 20:3=107 1998.12[民87.12] |
頁次 | 頁7-14 |
分類號 | 337.97 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 高分辨電子顯微學; |
中文摘要 | 中等電壓穿透式電子顯微鏡目前因硬體的球面像差及源相干性而使分辨率達到約 比 0.2mm 稍好的極限。 然而對於新材料的開發,及材料的使用日趨微小化,對了解新材料 及材料界面原子的結構 0.1mm 的分辨率是必須的。 高電壓的提升當然有助於分辨率的改進 ,但並非每日例行操作可以達到,並且耗資十億左右。加裝球面像差修正器( Cs corrector )以控制球面像差到很小值,可能是未來的一項趨勢,但必須犧牲掉影像的對比 ,目前尚未有商業化之技術出現。 在此篇文章中我們提出一數值方法重建試片出口之波函數。由高分辨影像及繞射圖形將分辨 率外推至 0.1mm。此方法大概的觀念是利用最大熵法求得在固定分辨率範圍的相位,再結合 繞射圖形之訊息,擴展分辨率至 0.1mm。 |
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