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題 名 | 先進DBFIB/FETEM之檢測技術應用在奈米材料、相變化記憶體與顯示器元件(上)=Advanced DBFIB/FETEM Techniques Application in Nano-Materials、Phase Change Memory and Display Device(Ⅰ) |
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作 者 | 羅聖全; 林明為; 江正誠; 林智仁; 陳淑貞; 林麗娟; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 230 民95.02 |
頁 次 | 頁175-179 |
分類號 | 440.12 |
關鍵詞 | 場發射穿透式電子顯微鏡; 雙粒子束聚焦式離子束顯微切割儀; 電子能量損失譜儀; 奈米材料; 相變化記憶體; 有機薄膜電晶體; Field emission transmission electron microscopy; FETEM; Dualbeam focused ion beam; DBFIB; Electron energy loss spectrometer; Nano-materials; Phase change memory; Organic thin-film transistor; OTFT; |
語 文 | 中文(Chinese) |