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題 名 | 掃描式軟X光光電子能譜顯微儀之原理及應用 |
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作 者 | 洪一弘; 李德輝; 殷廣鈐; 魏德新; 王世杰; 邱昭文; 柯陸詩; 陳建德; 曾金榮; 莊東榮; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 14:4 2001.12[民90.12] |
頁 次 | 頁12-25 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 掃描式軟X光光電子能譜顯微儀; 奈米材料; 微電子; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 同步輻射研究中心(SRRC)所建造之掃描式軟X光光電子能譜顯微儀已具有0.2微米的空間鑑別能力以及0.25eV的能譜解析度。結合同步輻射光源的高亮度及波長連續可調性(250eV~900eV),可同時提供奈米結構材料中各元素不同化學態之二維分佈以及表面形貌之相互關係。藉此可以更深入地瞭解奈米結構的特性。許多無法利用傳統顯微方法進行研究之實驗,皆能得到有利的分析。 |
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