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題 名 | Mesa Etching Characterization of InSb for High Density Image Array Applications |
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作 者 | Chang, Kow-Ming; Luo, Jiunn-Jye; Chiang, Chen-Der; Liu, Jacob Kou-Chen; | 書刊名 | 中國工程學刊 |
卷 期 | 30:1 2007.01[民96.01] |
頁 次 | 頁11-16 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | Mesa step height; Mesa etching; Etching mechanism; Image array; |
語 文 | 英文(English) |