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來源資料
機械月刊
33:5=382 2007.05[民96.05]
頁28-38
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題 名
微奈米級三維全域表徵動態顯微量測
作 者
陳亮嘉
;
黃耀庭
;
賴皇文
;
張中柱
;
陳生亮
;
書刊名
機械月刊
卷 期
33:5=382 2007.05[民96.05]
頁 次
頁28-38
專 輯
奈米技術專輯
分類號
446.8401
關鍵詞
頻閃干涉術
;
微機電裝置
;
奈米量測
;
自動化光學量測
;
共振頻率
;
語 文
中文(Chinese)
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