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中正嶺學報
34:2(A) 民95.05
頁261-269
電機工程
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題名
Sensitivity Analysis of MEMS Force Sensor Beam on the Test Chip=在測試晶片上微機電系統力感測樑的敏感性分析
作者
張豐宜
;
書刊名
中正嶺學報
卷期
34:2(A) 民95.05
頁次
頁261-269
分類號
448.57
關鍵詞
微機電系統
;
敏感性
;
力感測樑
;
晶片
;
MEMS
;
Sensitivtiy
;
Force sensor beam
;
Chip
;
語文
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