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題 名 | Sticking Effect for LPCVD Polysilicon Center-Anchored Sector Plates=中央固定低壓化學氣相沉積扇形多晶矽平板吸附現象 |
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作 者 | 林孟儒; 陳榮順; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 26:6 民94.12 |
頁 次 | 頁723-728 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 吸附; 扇形平板; 微機電系統; Center-anchored sector plate; Sticking; Capillary force; MEMS; Residual stress; |
語 文 | 英文(English) |