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題 名 | 局部電化學沈積法之一微結構製程及機械性質量測=Localized Electrochemical Deposition Process and Mechanical Property Measurements for One-Dimensional Structure |
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作 者 | 楊仁泓; 黃英修; 李春穎; 林招松; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷 期 | 37:2 民94.06 |
頁 次 | 頁93-99 |
分類號 | 440.21 |
關鍵詞 | 局部電化學沈積; 懸臂樑; 楊氏係數; 動態共振頻率; Localized electrochemical deposition; Cantilever; Young's modulus; Piezoelectric actuator; Flexure hinges; |
語 文 | 中文(Chinese) |