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題 名 | Measurement of Cryopanel Temperature and Pump Performance of Cryopump using Flow Meter Method |
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作 者 | Cheng,H. P.; Chen,T. H.; Lu,Y. C.; Sun,C. W.; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 18:1 2005.02[民94.02] |
頁 次 | 頁45-51 |
分類號 | 446.64 |
關鍵詞 | |
語 文 | 英文(English) |