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題 名 | Low Temperature Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors Fabricated by Amorphous Silicon Spacer Structure with Pre-Patterned TEOS Oxide Layer |
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作 者 | Cheng,Huang-chung; Tsai,Chun-chien; Lu,Jian-hao; Chang,Ting-kuo; Lin,Ching-wei; Chen,Bo-ting; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 18:1 2005.02[民94.02] |
頁 次 | 頁23-26 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | |
語 文 | 英文(English) |