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題名 | 低光擾掃描電容顯微鏡分析技術及其在載子分布分析之應用=Low-Photo-Perturbed Scanning Capacitance Microscopy and Its Applications on Analyzing Carrier Distribution |
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作者 | 張茂男; 陳志遠; 萬文武; 梁正宏; 潘扶民; Chang, Mao-nan; Chen, Chih Yuan; Wan, Wen-wu; Liang, Jenq-horng; Pan, Fu-ming; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 200310 |
卷期 | 25:2=136 2003.10[民92.10] |
頁次 | 頁61-67 |
分類號 | 471.713 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 低光擾掃描電容顯微鏡; 載子濃度分布; |