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題名 | 300mm晶圓傳送盒氮氣填充理論分析及動態模擬:考慮水氣滲入及吸附對填充效率之影響=Theoretical Analysis and Dynamic Simulation on Purging a Front Opening Unified Pod (FOUP) with Nitrogen for 300 mm Wafer Manufacturing: Influence of Moisture Content on Purge Efficiency |
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作者 | 曹志明; 胡石政; 吳宗明; 黃俊文; Tsao, James J. M.; Hu, S. C.; Wu, T. M.; Huang, J. W.; |
期刊 | 潔淨科技 |
出版日期 | 20041200 |
卷期 | 8 民93.12 |
頁次 | 頁53-62 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 晶圓傳送盒FOUP; 氮氣填充; 吸附; 計算流體力學; |