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題 名 | Ultra-Fine Tracking Control on Piezoelectric Actuated Motion Stage Using Piezoelectric Hysteretic Model |
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作 者 | Huang,Yi-cheng; Lin,De-yao; | 書刊名 | Asian Journal of Control |
卷 期 | 6:2 2004.06[民93.06] |
頁 次 | 頁208-216 |
分類號 | 448.942 |
關鍵詞 | Tracking control; Piezoelectric actuator; Hysteretic trajectory; Nano motion; |
語 文 | 英文(English) |