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題 名 | Robust Two-Degree-of-Freedom Control of an Atomic Force Microscope |
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作 者 | Schitter,G.; Stemmer,A.; Allgower,F.; | 書刊名 | Asian Journal of Control |
卷 期 | 6:2 2004.06[民93.06] |
頁 次 | 頁156-163 |
分類號 | 448.94 |
關鍵詞 | Nanotechnology; Fast scanning; AFM; Robust control; Scanning probe; |
語 文 | 英文(English) |