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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
8:1 2001.02[民90.02]
頁29-40
電機工程
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電燈廠
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題 名
使用Leica Weprint200電子束直寫微影系統製作0.1um MOS元件的技術
作 者
吳永俊
;
劉正財
;
宋金龍
;
胡淑芬
;
書刊名
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
卷 期
8:1 2001.02[民90.02]
頁 次
頁29-40
分類號
448.57
關鍵詞
Leica Weprint200電子束直寫微影系統
;
半導體
;
積體電路
;
微影技術
;
語 文
中文(Chinese)
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