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題 名 | 次微米級間隙機電式量測機構研製及應用=Development and Application of Sub-micrometer Gap Measuring Device |
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作 者 | 林忠民; | 書刊名 | 正修學報 |
卷 期 | 16 2003.12[民92.12] |
頁 次 | 頁129-137 |
分類號 | 448.2 |
關鍵詞 | 步進馬達; 次微米間隙; 分厘卡; 界面卡; Stepping motor; Sub-micrometer gap; Micrometer; Interface card; |
語 文 | 中文(Chinese) |