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題 名 | 以非無塵室製程技術製作生醫晶片用微流體元件=Technologies of Non-clean Room Manufacturing Processes to Fabricate Micro Fluid Flow Devices for Bio-MEMS |
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作 者 | 王明文; 沈金龍; 陳永鴻; 楊立全; | 書刊名 | 亞東學報 |
卷 期 | 25 2005.05[民94.05] |
頁 次 | 頁29-34 |
分類號 | 410.1644 |
關鍵詞 | 非無塵室微系統元件製程; 生醫晶片; 微流體元件; Non-clean room manufacturing process; Bio-MEMS; Micro fluid flow device; |
語 文 | 中文(Chinese) |