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題 名 | 2000年全球半導體前段生產設備市場概況 |
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作 者 | 魏依玲; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 220 2001.07[民90.07] |
頁 次 | 頁139-148 |
專 輯 | 自動化產業市場資訊專輯 |
分類號 | 484.51 |
關鍵詞 | 半導體生產設備; 市場; 資本支出; 12吋晶圓廠; 技術趨勢; Semiconductor equipment; Market; Capital spending; 300mm wafer fab; Technology trend; |
語 文 | 中文(Chinese) |