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題名 | 矽晶銅膜製備技術及表面分析=Copper Thin-Film Technology and Precursor Decomposition Processes |
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作者 | 黃英傑; 陳科華; 張哲政; Huang, Ing-jye; Chen, Kowa; Chang, Che-chen; |
期刊 | 化學 |
出版日期 | 200209 |
卷期 | 60:3 2002.09[民91.09] |
頁次 | 頁419-438 |
分類號 | 341.37 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 矽晶銅膜製備技術; 表面分析; |