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來源資料
工業材料
177 2001.09[民90.09]
頁87-91
高分子化學工業
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高分子化學工業
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題 名
MPECVD類鑽複合材料製程開發及應用
作 者
姜達銘
;
葉吉田
;
李永仁
;
陳春弟
;
彭兆民
;
書刊名
工業材料
卷 期
177 2001.09[民90.09]
頁 次
頁87-91
分類號
467
關鍵詞
微波電漿化學蒸鍍
;
類鑽
;
揚聲器
;
振動膜
;
Microwave plasma enhanced chemical vapor disposition
;
MPECVD
;
Diamond like carbon
;
DLC
;
Loudspeaker
;
Diaphragm
;
語 文
中文(Chinese)
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