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題名 | Performance Evaluation of In[feaf]O[feb0]-ZnO (IZO) Films Prepared by DC Pulsed Magnetron Sputtering=以脈衝磁控濺鍍法成長氧化銦鋅(IZO)薄膜之性能評估 |
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作者 | 陳瑾瑩; 何志傑; |
期刊 | 和春學報 |
出版日期 | 200109 |
卷期 | 8 2001.09[民90.09] |
頁次 | 頁267-272 |
分類號 | 448.5 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 氧化鋅銦; 直流電壓脈衝磁控濺鍍; 光電特性; In[feaf]O[feb0]-ZnO(IZO); Dc-pulsed magnetron sputtering; Electrical and optical properties; |