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題 名 | 雷射束特性對半球形加工穴內能量吸收強度分佈的影響 |
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作 者 | 何慶炎; | 書刊名 | 華夏學報 |
卷 期 | 34 1999.12[民88.12] |
頁 次 | 頁14453-14462 |
分類號 | 472.14 |
關鍵詞 | 雷射束; 波長; 偏光性; 能量吸收; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文研究入射束於半球形加工穴內經歷多次反射後實際為洞穴所吸收的能量強度 分佈。入射光為不同分佈形式、波長及偏光性( polarisation )的能量束,工件表面具有 散射( diffuse )和鏡射( specular )反射特性。考慮鏡射束的 Fresnel 吸收,鏡射反 射係數與入射角、波長、偏光性、工件材料有關。忽略電漿的能量吸收,洞表面溫度所產生 的輻射能及鏡射束反射過程的偏光性改變。 利用尤拉( Euler )觀點導出解析數學模式, 並配合拉格朗日( Lagrange )觀點的蒙地卡羅法驗證解的正確性,高斯和均等分佈的入射 束被用來探討波長、偏光性與工件材料對球洞內所實際吸收能量強度分佈的影響。結果顯示 波長短能量吸收強度高;工件材料的複數折射指數對能量吸收扮演重要角色,但偏光性的效 應並不顯著;小的散射係數與均佈入射束會促進球穴底部的能量吸收。 |
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