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題名 | 超潔淨微環境設計參數之實驗與模擬研究=Experimented and Analytical Studies of Design Parameters of an Ultra Clean Minienvironment |
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作者 | 蔡尤溪; 胡石政; 吳仁傑; 駱志輝; Chuah, Y. K.; Hu, S. C.; Wu, Ren-jye; Luoh, Jyh-huei; |
期刊 | 冷凍與空調 |
出版日期 | 200112 |
卷期 | 12 2001.12[民90.12] |
頁次 | 頁113-123 |
分類號 | 441.646 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微環境; 潔淨室; 實驗研究; |