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來源資料
電子月刊
7:6=71 2001.06[民90.06]
頁187-195
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匯出書目
題名
熱脫附質譜儀(TDS)量測技術於低介電薄膜材料的應用趨勢與評估=
作者
董立德
;
期刊
電子月刊
出版日期
200106
卷期
7:6=71 2001.06[民90.06]
頁次
頁187-195
分類號
448.552
語文
chi
關鍵詞
熱脫附質譜分析儀
;
低介電薄膜材料
;
TDS
;
Thermal desorption spectroscopy
;
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