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題名 | 無塵室用FFU之出風氣流性能量測與分析=The Measurement and Analysis of Airflow Characteristics of a Fan Filter Unit (FFU) |
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作者 | 胡石政; 李昇榮; 林瑋義; 詹皇烈; Hu, S. C.; Lee, S. R.; Lin, W. I.; Chan, H. L.; |
期刊 | 冷凍與空調 |
出版日期 | 200106 |
卷期 | 9 2001.06[民90.06] |
頁次 | 頁117-125 |
分類號 | 446.6 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 半導體廠; 無塵室; 送風系統; FFU; Fan filter unit; |