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題名 | 微熱離子真空計發展現況= |
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作者 | 陳峰志; 周榮源; 廖鶯鶯; 林進祥; |
期刊 | 真空科技 |
出版日期 | 19990700 |
卷期 | 12:2 1999.07[民88.07] |
頁次 | 頁18-25 |
分類號 | 471.3 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微熱離子真空計; |
中文摘要 | 隨著微機電系統(Micro Electro-Mechanicalsystem, MEMS)技術近年來之蓬勃發展, 許多習用之設備儀器可以由微加工技術(Micromachining Technology)製作微小化元件及組 件,並可整合感測與控制驅動電路於極微小的體積內。近來,利用微機電技術開發各式微真 空計,例如微熱導式真空計、微薄膜電容真空計、微派蘭尼真空計、微離子真空計、以及微 殘氣分析儀均有突破性進展。本文整理微離子真空計之發展現況,為讀者介紹以微結構做為 電子熱離子放射源、集極和柵極,實現離子真空計之微小化之概念。文獻所述微真空計功能 測試均可滿足習用真空計之壓力操作範圍,部分微真空計之廣域量測特性甚至遠優於習用真 空計之操作壓力範圍。同樣的電子放射微結構亦可做為磁場微偵測器,或是以場發射電子做 為射源之微真空三極體,本文蒐集相關研究文獻,整理介紹微離子真空計之原理、特性與微 加工技術。 |
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