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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
7:1 2000.02[民89.02]
頁18-23
電機工程
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電燈廠
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題 名
金屬雜質於DUV光阻中擴散及吸附行為之研究
編 次
2
作 者
楊金成
;
柯富祥
;
王美雅
;
王天戈
;
書刊名
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
卷 期
7:1 2000.02[民89.02]
頁 次
頁18-23
分類號
448.57
關鍵詞
金屬雜質
;
DUV光阻
;
擴散
;
吸附
;
語 文
中文(Chinese)
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