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題 名:
利用原子層控制之銅阻障層與種晶層沉積:
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作 者:
Haukka,Suvi;
Raaijmakers,Ivo;
Elers,Kai-erik;
Kostamo,Juhana;
Li,Wei-min;
Sprey,Hessel;
Soininen,Pekka J.;
Tuominen,Marko;
- 書刊名:
電子月刊
- 卷 期:
10:3=104 2004.03[民93.03]
- 頁 次:
頁131-134
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被引用次數:期刊(0) 博士論文(0) 專書(0) 專書論文(0)
排除自我引用:0
共同引用:0
點閱:0
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題 名:
淺談原子層沉積法:
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作 者:
李政達
李耀仁
潘同明
- 書刊名:
電子月刊
- 卷 期:
14:3=152 2008.03[民97.03]
- 頁 次:
頁158-167
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被引用次數:期刊(0) 博士論文(0) 專書(0) 專書論文(0)
排除自我引用:0
共同引用:0
點閱:0