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於SiO[feaf]/Si基材上鉭-矽-氮薄膜之濺鍍沈積及其高溫阻銅擴散性質:Sputter Deposition and High-temperature Barrier Properties Against Cu-diffusion of Tantalum-silicon-nitrogen Thin Films on SiO[feaf]/Si Substrates
陳慶洪 陳柏佑 蔡秉昇 張勁燕 Chen, E. C.; Chen, B. Y.; Chai, B. S.; Chang, G. Y.;
真空科技
15:3 2002.09[民91.09]
頁20-29
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