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離子轟擊對濺鍍奈米結晶氮化鋁鈦/非晶氮化矽複合薄膜之影響:Effect of Ion Bombardment on Sputtered Nanocrystal-(Ti,Al)N[fec5]/Amorphous-SiN□ Composite Films
姚寶順 黃肇瑞 Yau, B. S.; Huang, J. L.;
材料科學與工程
36:3 2004.09[民93.09]
頁179-184
TCI引用統計