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題 名:
Micro Electrothermal Actuators and Their Applications on Micro-Optics:微型電熱式致動器與其在微型光學上之應用
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
81 2001.02[民90.02]
- 頁 次:
頁1-10
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題 名:
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題 名:
面型微加工技術製作之電熱式致動器:Study on Surface Micromachined Electrothermal Actuators
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
24:4=132 2003.02[民92.02]
- 頁 次:
頁25-33
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題 名: