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利用半導體CMOS製程中化學氣相沉積堆疊之超薄二硫化鉬立體鰭式場效電晶體元件:Stackable MoS₂ FinFETs Using Solid CVD by CMOS-Compatible Process Technology
陳旻政 李愷信 陳奕如 陳綉芝 魏耘捷
奈米通訊
23:1 2016.03[民105.03]
頁41-44
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