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題 名:
微邊際電容感測器的設計與製作:Design and Fabrication of Mems-Based Fringe Capacitive Sensor
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
11:1 2002.01[民91.01]
- 頁 次:
頁1-6
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題 名: