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利用電漿增強化學氣相沉積法製備二氧化矽硬化膜於可撓式塑膠基板之研究:Preparation and Characterization of Silicon Oxide Hard Coatings Deposited on Flexible Plastic Substrates Using Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition
吳政洋 陳文政 廖育柯 劉代山 Wu, Cheng-yang; Chen, Wen-cheng; Liao, Yu-ko; Liu, Day-shan;
真空科技
23:3 2010.09[民99.09]
頁42-50
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