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Evolution of Microstructures in Hydrigenated Silicon Films Prepared by Diluted-Hydrogen and Hydrogen-Atom-Treat-ment Method:應用氫釋法及氫原 子處理法促成氫化矽膜微細結構演化之研究
許國強 張華 黃惠良
興大工程學報
4 1993.07[民82.07]
頁139-150
TCI引用統計