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量測機臺幾何誤差之六軸雷射干涉儀:Six-Degree-of-Freedom Interferometer for Detecting Geometric Errors of Precision Stages
林世聰 馬兆廷 陳世剛 陳昭元 黃泓諭 廖述政
機械工業
428 2018.11[民107.11]
頁60-65
TCI引用統計