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應用於矽晶太陽電池的原子層沉積設備模組與系統開發:Atomic Layer Deposition Module and Apparatus Development for Silicon Crystal Solar Cells
黃俊凱 葉昌鑫 田偉辰 洪政源 吳以德 Huang, Chun-kai; Ye, Chang-sin; Tien, Wei-chen; Hung, Cheng-yuan; Wu, Yii-der;
真空科技
32:3 2019.09[民108.09]
頁39-46
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