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題 名:
化學機械研磨製程之有限元素建模:Finite Element Modeling for Chemical Mechanical Polishing Process
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
17 2003.06[民92.06]
- 頁 次:
頁273-284
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
22:4 民94.07
- 頁 次:
頁346-354
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
28 2015.01[民104.01]
- 頁 次:
頁31-40
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
26 2013.04[民102.04]
- 頁 次:
頁49-58
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
27 2014.01[民103.01]
- 頁 次:
頁13-22
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
25 2011.06[民100.06]
- 頁 次:
頁163-170