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鋁摻雜氮化鈦薄膜對同之擴散阻礙能力的強化現象:Barrier Strengthening Phenomenon of Aluminum Doped TiN Thin Film Against Copper Diffusion
許振聲 余均躋 府玠辰 黃子軒 游冠霖 陳錦山
真空科技
18:4 民95.02
頁37-43
TCI引用統計