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兆赫茲電磁輻射應用於單晶矽晶圓之穿透研究:Study on Silicon Wafer with Various Resistivities Utilizing THz Time-Domain Spectroscopy
張鮮文 陳柏荔 翁俊仁 楊智仲 白世璽 Chang, Shian-wen; Chen, Po-li; Weng, Chun-jen; Yang, Jr-jung; Pai, Shyh-shii;
科儀新知
30:4=168 2009.02[民98.02]
頁69-81
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